佳能发售用于生产车载大型特殊显示器及智能手机显示器的FPD新曝光设备
佳能发售用于生产车载大型特殊显示器
及智能手机显示器的FPD新曝光设备
更大的曝光幅度 更强的生产性能
佳能将在2024年6月上旬发售支持使用第6代玻璃基板※1的FPD(Flat Panel Display)曝光装置新产品MPAsp-E1003H。其拥有更大的曝光幅度,生产能力将进一步提升。
MPAsp-E1003H
车载横向大型特殊显示器(示意图)
近年来,随着自动驾驶技术的发展和电动汽车市场的扩大,对于各式各样的车载显示器的需求量越来越高。市场对于车载和智能手机的显示器,要求更轻薄、轻量,高精度,同时面板制造中不仅要确保品质,而且追求更高的生产效率。新品“MPAsp-E1003H”依托曝光幅度的扩大技术以及各种新技术的应用,在取得更好的套刻精度的同时还能大幅提升生产效率。
支持使用第6代玻璃基板的最大※2的曝光幅度
生产性能提升
新产品采用了投影光学系统,可实现1.5μm※3(L/S※4)的高分辨率,且一次曝光幅度扩大约1.2倍※5。该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”(2022年7月发售),可用于生产使用第8代玻璃基板※6一次性曝光、用于大型电视等的65英寸面板。在一块玻璃基板上,如果生产智能手机面板等产品,此前需要6shot曝光,而新产品仅需4shot曝光,生产性能大幅提升。此外,在生产车载横向大型特殊显示器时,也可以做到无接缝2shot曝光。且,玻璃基板搭载台的驱动速度提升约60%,tact time提升约14%※7,有效提升了量产效率。
曝光幅度约扩大1.2倍
第8代玻璃基板上采用的投影光学系统的图片
智能手机用显示器的shot 布局示例 大型特殊显示器的shot 布局示例
根据用途可进行4 shot或者2 shot曝光
新开发的非线性补正模块
实现高套刻精度
新产品除了采用和支持第6代玻璃基板的“MPAsp-E813H”(2014年9月发售)一样的每块面板多点同时测量的对位方式,此方式既保证了生产效率也实现了高精度曝光。同时,新产品还搭载了新开发的非线性补正REI(Real-Time Equalizing distorted Image)模块。搭载REI 模块后,即使曝光幅度扩大也实现了±0.30μm高套刻精度。
定位测量,REI模块搭载位置
定位测量示意图
通过REI 模块对投影的图案进行均等补
使用REI Unit后的曝光图案(示意图)
强化制造工艺
新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构,可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换,从而适配各类制造工序的曝光。
照明模式切换设备和曝光示意图
新产品在形成圆弧光的机构中,配备曝光狭缝自动调整机构(SIC:Slit Illuminance Control)。通过自动控制光线通过的狭缝宽度,可以改变曝光光线的强度分布,从而实现稳定的曝光线宽。
曝光狭缝自动调整机构
自动控制光通过狭缝的幅度实现稳定的曝光线宽
同时,新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的universe chuck,首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。新产品MPAsp-E1003H通过强化上述制造工序的工艺应对能力,制造质量更加稳定。
横向纵向皆可固定玻璃基板的universe chuck
※1、1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板,用于制造以智能手机为主的中小型显示器面板。
※2、佳能生产的支持使用第6代玻璃基板的FPD曝光设备。
※3、1微米是1米的百万分之一(=千分之一毫米)。
※4、Line and Space的缩写。Line和Space等距排列的图案。
※5、和「MPAsp-E813H」比较。
※6、2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板,现在主要用于制造电视显示器面板。
※7、和「MPA-E813H」比较。
※8、σ(sigma)为照明系的NA(开口数)和投影系的NA的比。
※9、Contact Hole缩写。为了形成布线而贯穿多层的圆形图案。