佳能发售用于生产车载大型特殊显示器及智能手机显示器的FPD新曝光设备

佳能发售用于生产车载大型特殊显示器

及智能手机显示器的FPD新曝光设备

更大的曝光幅度 更强的生产性能

佳能将在2024年6月上旬发售支持使用第6代玻璃基板^※1的FPD（Flat Panel Display）曝光装置新产品MPAsp-E1003H。其拥有更大的曝光幅度，生产能力将进一步提升。

MPAsp-E1003H

车载横向大型特殊显示器（示意图）

近年来，随着自动驾驶技术的发展和电动汽车市场的扩大，对于各式各样的车载显示器的需求量越来越高。市场对于车载和智能手机的显示器，要求更轻薄、轻量，高精度，同时面板制造中不仅要确保品质，而且追求更高的生产效率。新品“MPAsp-E1003H”依托曝光幅度的扩大技术以及各种新技术的应用，在取得更好的套刻精度的同时还能大幅提升生产效率。

支持使用第6代玻璃基板的最大^※2的曝光幅度

生产性能提升

新产品采用了投影光学系统，可实现1.5μm^※3（L／S^※4）的高分辨率，且一次曝光幅度扩大约1.2倍^※5。该投影光学系统曾用于“MPAsp-H1003H”（2022年7月发售），可用于生产使用第8代玻璃基板^※6一次性曝光、用于大型电视等的65英寸面板。在一块玻璃基板上，如果生产智能手机面板等产品，此前需要6shot曝光，而新产品仅需4shot曝光，生产性能大幅提升。此外，在生产车载横向大型特殊显示器时，也可以做到无接缝2shot曝光。且，玻璃基板搭载台的驱动速度提升约60%，tact time提升约14%^※7，有效提升了量产效率。

曝光幅度约扩大1.2倍

第8代玻璃基板上采用的投影光学系统的图片

智能手机用显示器的shot 布局示例  大型特殊显示器的shot 布局示例

根据用途可进行4 shot或者2 shot曝光

新开发的非线性补正模块

实现高套刻精度

新产品除了采用和支持第6代玻璃基板的“MPAsp-E813H”（2014年9月发售）一样的每块面板多点同时测量的对位方式，此方式既保证了生产效率也实现了高精度曝光。同时，新产品还搭载了新开发的非线性补正REI（Real-Time Equalizing distorted Image）模块。搭载REI 模块后，即使曝光幅度扩大也实现了±0.30μm高套刻精度。

定位测量，REI模块搭载位置

定位测量示意图

通过REI 模块对投影的图案进行均等补

使用REI Unit后的曝光图案（示意图）

强化制造工艺

新产品沿用了曾经搭载在“MPAsp-H1003H”上实现了超分辨率技术的照明模式切换机构，可根据需要曝光图案的种类进行照明模式切换，从而适配各类制造工序的曝光。

照明模式切换设备和曝光示意图

新产品在形成圆弧光的机构中，配备曝光狭缝自动调整机构（SIC：Slit Illuminance Control）。通过自动控制光线通过的狭缝宽度，可以改变曝光光线的强度分布，从而实现稳定的曝光线宽。

曝光狭缝自动调整机构

自动控制光通过狭缝的幅度实现稳定的曝光线宽

同时，新产品还采用了可配合曝光布局自由选择玻璃基板纵横方向的universe chuck，首次实现可应对车载显示器多样化布局需求。新产品MPAsp-E1003H通过强化上述制造工序的工艺应对能力，制造质量更加稳定。

横向纵向皆可固定玻璃基板的universe chuck

※1、1,500×1,850mm尺寸的玻璃基板，用于制造以智能手机为主的中小型显示器面板。

※2、佳能生产的支持使用第6代玻璃基板的FPD曝光设备。

※3、1微米是1米的百万分之一（=千分之一毫米）。

※4、Line and Space的缩写。Line和Space等距排列的图案。

※5、和「MPAsp-E813H」比较。

※6、2,200×2,500mm尺寸的玻璃基板，现在主要用于制造电视显示器面板。

※7、和「MPA-E813H」比较。

※8、σ（sigma）为照明系的NA（开口数）和投影系的NA的比。

※9、Contact Hole缩写。为了形成布线而贯穿多层的圆形图案。